Азот, распространенный газ в производстве чипов

Азот, распространенный газ в производстве чипов

• Азот, распространенный газ в производстве чипов
• Азот широко используется в производстве чипов, поэтому знание его использования и применения имеет решающее значение.
• I. Физические свойства азота: химический символ: N2.
• Молекулярный вес: 28,01 (обычно считается 28)
• Удельный вес: 0,967
• Точка кипения: -195,8 градусов (обычно считается -196 градусов)
• Внешний вид: Бесцветный и без запаха.
• Воспламеняемость: Не-негорючий.
• Безопасность: чисто удушающий и не-токсичный, обычно не представляет никакого риска. Однако высокие концентрации могут вызвать удушье из-за недостатка кислорода. Будьте осторожны с утечками и обеспечьте достаточную вентиляцию.
• Реактивность: Очень стабильна, почти нереактивна. Однако он будет реагировать при высоких температурах или высоких температурах и высоких давлениях с образованием нитридов.
• Применимые материалы: он не-не вызывает коррозии металлов и может использоваться со всеми металлами. Однако при сжижении азота следует выбирать материалы, не хрупкие при низких температурах. Применимы практически все материалы, такие как пластик, резина и т. д.

 

II. Использование азота

(1). Производство азота: Азот можно извлечь с помощью оборудования для разделения воздуха. Его можно легко производить в больших количествах и дешево в соответствии с требуемой заводом чистотой и поставлять по трубопроводам.

(2). Использование азота: Чистящий азот можно использовать для очистки примесей и грязи внутри и снаружи полупроводниковых устройств. При очистке можно использовать сильное воздействие воздушного потока для быстрой очистки устройства и уменьшения его повреждения. Защита При производстве и транспортировке полупроводниковых приборов материалы в них нуждаются в защите. Азот как инертный газ может играть защитную роль. Во время упаковки и транспортировки для герметизации устройства используется азот, чтобы предотвратить неблагоприятные последствия, такие как окисление и коррозия. Сухой азот можно использовать для сушки материалов. В процессе сушки азот удаляет поверхностную и внутреннюю влагу посредством принудительного потока воздуха. Его обычно используют в производстве микроэлектроники, оптических устройств и порошковых покрытий.

 

При производстве полупроводниковых приборов азот можно использовать в качестве окислителя для окислительной обработки поверхности.

Азот, благодаря своей стабильности и доступности, может поддерживать однородность поверхности устройства, одновременно повышая эффективность окисления и избегая неблагоприятного воздействия кислорода.

 

Продувка применяется для продувки оборудования и газопроводов. При проведении технического обслуживания оборудования, использующего токсичные газы, вместо резкого открытия камеры производят продувку азотом. Работы тогда выполняются только после обеспечения безопасности.

 

Порядок продувки газопровода: собственно газ → продувка азотом → атмосфера (обратный порядок после технического обслуживания). Необходимо обеспечить безопасность для предотвращения загрязнения воздухом, кислородом или другими газами. Разбавление преследует две цели. Один из них заключается в контроле скорости окисления термической оксидной пленки, как того требует процесс окисления разбавлением. Другая задача – снизить концентрацию выхлопных газов оборудования для обеспечения безопасности. Например, разбавление выхлопных газов SiH4 и водородными сплавами снижает концентрацию выхлопных газов до нижнего предела взрываемости, чтобы обеспечить безопасность. Базовые газы обычно используются в качестве базовых газов в диффузионных печах. Базовые газы также используются для регулировки концентрации газовых баллонов, например, путем смешивания SiH4 с 20% азота. Проверка утечек также используется для проверки трубопроводов и систем C/C на наличие утечек в оборудовании для поддержания давления азота.

 

Xida Heating Technology: решение проблемы безопасности при очистке отходящих газов полупроводникового производства, обеспечение непрерывности производства и безопасности оборудования

Производство полупроводников генерирует большое количество отходящих газов, многие из которых являются коррозионными, пирофорными или потенциально взрывоопасными при контакте с воздухом. Обычно эти газы разбавляются азотом (N₂) на ранних стадиях очистки отходящих газов, чтобы обеспечить концентрацию ниже нижнего предела взрываемости или уменьшить коррозионное воздействие.
Однако смешивание более холодного азота с отходящими газами ускоряет конденсацию, а накопление отложений может привести к незапланированному простою. Нагрев азота является лучшим вариантом, но только в том случае, если в систему не попадают новые утечки азота. Xida Heating Technology достигает этого, а это означает, что производителям полупроводников больше не придется совмещать проблемы безопасности с возможными простоями, вызванными засорением выхлопной системы.

• Предотвращение утечек снижает риск взрыва.
• Предотвращение образования конденсата сокращает время простоя при очистке.
• Предотвращение коррозии на отопительном оборудовании, снижение риска выхода оборудования из строя.
• Обновления процесса увеличивают расстояние, которое проходит нагретый газ, чтобы обеспечить постоянную температуру трубы на больших расстояниях.
• Структура обновлена ​​для снижения общего энергопотребления и экономии электроэнергии.